Jomesa系统分析提取的粒子

JomesaPSE系统对洁净度测试过程中提取的颗粒进行材料分析(ISO 16232/VDA19.1)。该系统是一个桌面尺寸的SEM/EDX系统，集成了公司的HFD自动清洁度分析系统。通过共享本地网络连接，HFD系统执行光学计数和污染粒子的测量，同时也使操作人员能够识别“感兴趣的”粒子，以便进一步分析材料组成。然后将样品装入PSE系统，对已识别的颗粒进行材料分析。

光学和扫描电镜技术的结合据说可以减少与清洁度测试分析相关的等待时间，因为颗粒是直接分析的，不需要对滤膜进行全面扫描。全过滤扫描和依赖颗粒大小的扫描也可用。