清洗过程显示微机械零件的性能提高

真空循环成核（VCN）真空处理系统是一种用于增强材料向固体表面或从固体表面转移的技术。该过程通过将包含浸没在液体中的零件的受控环境室中的总压力降低至低于液体蒸汽压力来完成。

该过程导致在固体零件表面形成蒸汽气泡，其中气泡形成的典型成核位置可以以缺陷、裂缝或异物的形式找到。由于沸腾蒸汽气泡在表面裂缝和缺陷处形成，真空成核气泡通过在表面上的颗粒成核而具有选择性，从而增强颗粒从表面的分离。当气泡坍塌时，内爆的气泡释放出大量的局部能量。通过调节真空和压力循环，气泡的生长和破裂大约每分钟重复60次。

VCN工艺可用于水化学或溶剂化学。尽管该工艺是表面活性的，但已证明其本身不会损坏零件表面。